工作原理:
PED的檢測原理是在檢測器石英小池周圍加以高頻、高強(qiáng)度的電磁場,在高頻、高強(qiáng)電磁場的作用下載氣和雜質(zhì)氣體被電離為具有較高的能量的等離子體(plasma)。當(dāng)樣品進(jìn)入檢測器的石英小池之后,被等離子體電離并發(fā)出不同波長的光,根據(jù)波長不同設(shè)計不同的濾光片。背景組分發(fā)出的光不能通過被檢測組分的濾光片,這樣就避免了主組分的干擾,光信號經(jīng)光電二極管轉(zhuǎn)化為電信號。所以,PED檢測器是一種選擇性的檢測器。
典型應(yīng)用:
◆ 電子工業(yè)用氣體/高純氣體/特種氣體雜質(zhì)分析;
◆ 氣體充裝/標(biāo)準(zhǔn)氣配置分析;
◆ 石化化工/煤化工痕量碳?xì)浼半s質(zhì)檢測;
◆ 制氫/氯堿/多晶硅等化工類行業(yè)氣體分析;
PED可檢測雜質(zhì)靈敏度(ppb)
規(guī)格參數(shù)