DHFC1多功能薄膜性能測試儀由四探針測試儀和非晶硅薄膜電導(dǎo)率測量儀兩部分組成。DHFC1多功能薄膜性能測試儀具有測量精度高，靈敏度高，穩(wěn)定性好，測量范圍寬，結(jié)構(gòu)緊湊，使用方便等特點(diǎn)。DHFC1多功能薄膜性能測試儀適用于半導(dǎo)體材料廠，半導(dǎo)體器件廠，科研單位，高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能的測試。
四探針測試儀由主機(jī)，測試架等部分組成?？梢詼y量片狀，塊狀，塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率，測量擴(kuò)散層的薄層電阻（亦稱方塊電阻），功能材料暗電導(dǎo)和光電導(dǎo)及溫度的變化的特性，還可以對(duì)金屬導(dǎo)體的低，中值電阻進(jìn)行測量。測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成，故定位準(zhǔn)確，游移率小，壽命長。
非晶硅薄膜電導(dǎo)率測量儀由樣品室，溫控系統(tǒng)，真空系統(tǒng)，高阻測量系統(tǒng)等部分組成。
1. 測量范圍：電阻測量范圍：1×106 ～ 1×1017Ω；
電阻率：0.001～200Ω cm;
電導(dǎo)率：0.005～1000s/cm;
2. 可測晶片直徑：200mm×200mm;
3. 探針：碳化鎢或高速鋼；探針間距：1± 0.01mm;
4. 針間絕緣電阻： ≥ 1000 MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3%；
5. 本底真空度： ≤10Pa,氣壓可控范圍：10～400Pa;
襯底加熱溫度：室溫度～200℃
四探針測試儀 薄膜電導(dǎo)率測試儀
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