HZDH2010多功能真空實(shí)驗(yàn)儀（設(shè)計(jì)性、綜合性實(shí)驗(yàn)）是一個(gè)真空實(shí)驗(yàn)平臺(tái)，能夠很直觀反映真空獲得的全過(guò)程。由真空獲得部分、真空鍍膜機(jī)構(gòu)和電控及儀表等部分組成，結(jié)構(gòu)合理，運(yùn)行安全可靠，適合于對(duì)學(xué)生開展真空實(shí)驗(yàn)教學(xué)。
本產(chǎn)品已獲得國(guó)家實(shí)用新型磚利：ZL 2007 2 0107661.X
在2008年第五屆國(guó)內(nèi)高等學(xué)校物理實(shí)驗(yàn)教學(xué)研討會(huì)物理儀器評(píng)比中榮獲三等獎(jiǎng)。
可開設(shè)的實(shí)驗(yàn)
1、真空的獲得與測(cè)量；2、蒸發(fā)法薄膜制備
主要技術(shù)特點(diǎn)
1、設(shè)備的真空反應(yīng)室、油擴(kuò)散泵、真空管路部件全透明；
2、電氣控制有安全防護(hù)，防止誤操作對(duì)操作人員和設(shè)備造成的損傷；
3、管路采用不銹鋼、真空橡膠管結(jié)合，閥門為電控雙向截止閥；真空室內(nèi)有烘烤除氣裝置；
4、一機(jī)多用的功能，針對(duì)高校開展綜合性、設(shè)計(jì)性和開放性實(shí)驗(yàn)的要求,預(yù)留有大空間的真空室，在配置一些組件后，就能方便開設(shè)其他擴(kuò)展實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目。
主要技術(shù)參數(shù)
1、Ф230×255mm玻璃真空室；
2、采用機(jī)械泵、四級(jí)玻璃質(zhì)油擴(kuò)散泵兩級(jí)真空系統(tǒng)，擴(kuò)散泵油量125~140ml，需水冷；
3、真空度：開機(jī)60分鐘后可達(dá)5×10-3Pa，極限真空度：9.6×10-4Pa；恢復(fù)真空時(shí)間＜40分鐘；
4、采用一對(duì)無(wú)氧銅電極蒸發(fā)電極，電極間距70mm，可選用鎢絲或鉬舟作蒸發(fā)源，蒸發(fā)電流調(diào)節(jié)范圍： 0～150A；
5、襯底可加熱，襯底加熱溫度范圍：室溫～200℃；
6、工作電壓：AC220V±5%，50Hz；整機(jī)功率：3kW；
7、工作環(huán)境要求：溫度低于30℃，濕度≤70％；水循環(huán)用戶自備。
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