Dycor流導限制型離子源氣體分析儀是專門為半導體和薄膜制造過程監(jiān)測而設計的，體系壓力為毫托范圍。
| Dycor DyMaxion 流導限制型氣體分析儀 |
| 概述 對離子發(fā)生器的設計，可以得到增強的靈敏度和下降的背景噪聲。當一個流導限制型離子源在樣本壓力達到10-3 torr時可以運行，不需要分析抽氣的進樣系統(tǒng)進一步減少壓力。越高的樣本壓力下有更多的中子，有更多的樣氣會離子化。壓力每增大一個數(shù)量級，信號強度和樣本濃度成比例地變化。這是通過限制樣本氣體在一個（相對）小的離子室內而實現(xiàn)的。樣本氣體被限制在離子室內，該離子室的兩邊有兩個裂縫，轟擊電子通過這些裂縫進入，進而使樣品氣體離子化。在靠近離子室的小的出口形成的離子立即被吸至質量過濾器，幾乎沒有機會和中子反應。離子化效率很高，因為實際上所有的樣本氣體都經(jīng)過小的離子化地帶。從離子源到下游的質量過濾器的主要的傳送機制是由離子發(fā)生器中的相對高壓與下游質量過濾器中的相對低壓產生的一個壓力梯度。因此，離子源是由于壓力的不同而引起的流導限制。 |
