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SHST2248A 多功能四探針測(cè)試儀,薄層電阻測(cè)試儀,低電阻測(cè)試儀

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  • 型號(hào)SHST2248A
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時(shí)間2023-03-05
  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷商
  • 所在地區(qū)成都市
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量2632
  • 人氣值11976
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  成都福克儀器有限公司,有從事儀器儀表及測(cè)試設(shè)備行業(yè)近30年的歷史。公司銷售部擁有近200平方米的營(yíng)業(yè)面積,始終致力于專業(yè)儀器儀表、測(cè)試設(shè)備及配套電子工具的銷售及服務(wù)。

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SHST2248A多功能四探針測(cè)試儀(微小電阻測(cè)試儀)測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率,測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻。SHST2248A微電阻測(cè)試儀換上特制的四端子測(cè)試夾具,SHST2248A微電阻測(cè)試儀還可對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。SHST2248A微電阻測(cè)試儀。SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀(多功能四探針測(cè)試儀)。SHST2248A多功能微小電......
多功能四探針測(cè)試儀,薄層電阻測(cè)試儀,低電阻測(cè)試儀 產(chǎn)品詳情

SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀


一、概述

SHST2248A型數(shù)字式多功能四探針測(cè)試儀(多功能微小電阻測(cè)試儀)是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量裝置,SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀(多功能四探針測(cè)試儀)可以測(cè)量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率,測(cè)量擴(kuò)散層的薄層電阻(亦稱方塊電阻)。換上特制的四端子測(cè)試夾具,還可以對(duì)電阻器體電阻、金屬導(dǎo)體的低、中值電阻以及開關(guān)類接觸電阻進(jìn)行測(cè)量。

SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀(多功能四探針測(cè)試儀)特贈(zèng)設(shè)測(cè)試結(jié)果分類功能,*大分類10

SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀(多功能四探針測(cè)試儀)由主機(jī)、測(cè)試探頭(可選配測(cè)試臺(tái))等部分組成。主機(jī)主要由數(shù)控恒流源、高分辨率ADC、鍵盤輸入、顯示驅(qū)動(dòng)及嵌入式單片機(jī)系統(tǒng)組成。

SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀(多功能四探針測(cè)試儀)所有參數(shù)設(shè)定、功能轉(zhuǎn)換全部采用數(shù)字化鍵盤輸入;具有零位、滿度自校功能;自動(dòng)轉(zhuǎn)換量程,其電壓電流組合規(guī)則符合國家標(biāo)準(zhǔn)中關(guān)于半導(dǎo)體材料測(cè)試電壓電流選擇推薦要求;測(cè)試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針制成,故定位準(zhǔn)確、游移率小、壽命長(zhǎng);測(cè)試結(jié)果由數(shù)字表頭直接顯示。儀器具有測(cè)量精度高、靈敏度高、穩(wěn)定性好、智能化程度高、結(jié)構(gòu)緊湊、測(cè)量簡(jiǎn)便等特點(diǎn)。

SHST2248A多功能微小電阻測(cè)試儀(多功能四探針測(cè)試儀)適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料、電阻器、開關(guān)器件的電阻(率)性能的測(cè)試。特別適用于要求快速測(cè)量中低電阻(率)及要求結(jié)果分選的場(chǎng)合。

二、技術(shù)參數(shù)

1. 測(cè)量范圍、分辨率

阻: 1.0×10-3 200.0×103 Ω, 分辨率0.1×10-3 0.1×103 Ω

電 阻 率: 10.0×10-3 20.0×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-3 0.1×103 Ω-cm

方塊電阻: 10.0×10-3 20.0×103 Ω/ 分辨率1.0×10-3 0.1×103 Ω/

2. 量程劃分及誤差等級(jí)

序號(hào)

量程

有效測(cè)量范圍/F

單位

誤差

備注

1

200.0 kΩ-cm/

210.0020.0

kΩ-cm/

±0.5%FSB

±1LSB

(在各量程范圍內(nèi))

超量程:R250.0 kΩ或

ρ>200.0 kΩ-cm

欠量程: R20.0 mΩ

ρ<1.0 mΩ-cm

可測(cè)量,但誤差將隨超欠程度而變大

2

20.00 kΩ-cm/

21.0002.00

kΩ-cm/

3

2.000 kΩ-cm/

2.1000.200

kΩ-cm/

4

200.0 Ω-cm/

210.0020.0

Ω-cm/

5

20.00 Ω-cm/

21.0002.00

Ω-cm/

6

2.000 Ω-cm/

2.1000.200

Ω-cm/

7

200.0 mΩ-cm/

210.0000.0

mΩ-cm/

3. 可測(cè)半導(dǎo)體材料尺寸

徑: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 Φ15130mm,其他方式不限.

長(zhǎng)(或高)度: 測(cè)試臺(tái)直接測(cè)試方式 H160mm, 其他方式不限.

4. 測(cè)量方位

軸向、徑向均可

5. 數(shù)字電壓表:

⑴量程:10mV 100 mV,自動(dòng)

⑵顯示: 4位有效數(shù)字,*大顯示999.9 小數(shù)點(diǎn)、單位自動(dòng)顯示

6. 數(shù)控恒流源

電流輸出:直流電流2µA100mA可調(diào),系統(tǒng)自動(dòng)步進(jìn)調(diào)整。

7. 四探針測(cè)試探頭:

⑴探 距: 1mm

⑵探針機(jī)械游移率: ±1.0%

⑶探 針: 碳化鎢,Φ0.5mm

⑷壓 力: 02kg可調(diào),*大壓力約

2kg

8. 電源:

功 耗:< 3W

輸入:220V±10% 50Hz

9. 本儀器工作條件為:

度: 23℃±2

相對(duì)濕度: 60%

工作室內(nèi)應(yīng)無強(qiáng)電磁場(chǎng)干擾,不與高頻設(shè)備共用電源。

10. 外形尺寸:

主機(jī) 180mm(長(zhǎng))×200 mm(寬)×70mm(高)

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