技術配置及要求:
1 電子槍能量范圍:1 keV ~ 30 keV;
2 電子槍工作距離:30 mm ~ 200 mm;
3 電子束偏轉角度:±1.5o @ 30 keV;
4 電子槍束流:100 nA ~ 10 µA ;
5 束斑尺寸:100 µm ~ 25 mm;
6 陰極材料:LaB6;
7 計算機/遠程控制能力:通過50針D-sub/RS-232接口;
8 反饋穩(wěn)定功能:發(fā)射電流控制;
9 雙柵脈沖寬度調制范圍:2 µs ~ DC,重復頻率可到5 kHz;(Option)
10 脈沖寬度調制范圍:20 ns ~ 100 µs;(Option)
11 法拉第杯;(Option)
EMG-4103 / EGPS-4103型電子槍產品介紹