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公司介紹主營產(chǎn)品

深圳海創(chuàng)德科技有限公司成立于2012年，由數(shù)位理工科博士創(chuàng)辦，團隊成員均為理工科博士和碩士，具有高水平的專業(yè)水準(zhǔn)。公司致力于半導(dǎo)體微加工及分析設(shè)備的銷售和安裝服務(wù)，產(chǎn)品覆蓋薄膜制備，物性測量和表面分析。經(jīng)營的主要產(chǎn)品如下：1. 磁控濺射、電子束蒸發(fā)、熱蒸發(fā)、PECVD、LPCVD、ALD、RIE、ICP、RTP、涂膠機和熱板等薄膜技術(shù)相關(guān)的設(shè)備；2. 美國Kimball Physics的電子槍、離子槍、真空腔體和熒光屏等部件；美國OCI的LEED和AES等各種真空組件；美國MicroXact的真空、低溫和磁場等數(shù)種探針臺；3. 我們還提供上述設(shè)備的配套部件及耗材，如直流和射頻電源、靶材、探針、光刻膠和ALD耗材等。我們的產(chǎn)品性價比高，品質(zhì)精良，性能*，在歐美及中國臺灣地區(qū)具有的口碑，國內(nèi)眾多的科研院所和大學(xué)均對我們的產(chǎn)品報以好評。我們期待以優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，良好的服務(wù)和專業(yè)的技術(shù)為更多的客戶提供解決方案！期待與您的合作！

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產(chǎn)品簡介在線詢價

多工位磁控濺射鍍膜機可同時放置多片基片，適應(yīng)研發(fā)線或中試線的小批量生產(chǎn)

多工位磁控濺射鍍膜機產(chǎn)品詳情

多工位磁控濺射鍍膜機可同時放置多片基片，適應(yīng)研發(fā)線或中試線的小批量生產(chǎn)。矽碁提供的可公轉(zhuǎn)基片載臺方便客戶靈活調(diào)整各基片對應(yīng)不同靶位。預(yù)裝矽碁自主研發(fā)的工業(yè)級全自動控制系統(tǒng)，設(shè)備可按預(yù)設(shè)工藝流程進行自動生產(chǎn)。工藝重復(fù)性優(yōu)于 ±3%，有效保證生產(chǎn)穩(wěn)定性。

技術(shù)參數(shù)：

1 本底真空10^-7 Torr；

2 多基片設(shè)計，數(shù)量、尺寸可定制；

3 基片臺可公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)并加熱：300℃/500℃/800℃；

4 最多可拓展6支磁控濺射靶槍，6個工位；

5 靶槍濺鍍距離可調(diào)，可升級強磁靶；

6 防交叉污染遮板設(shè)計；

7 可配備樣品預(yù)清洗功能；

8 可配備快速進樣室；

9 可配備自動壓力控制系統(tǒng)；

關(guān)鍵詞：鍍膜機控制系統(tǒng)

熱門產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱	參考價	地區(qū)	公司名稱	更新時間
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浸漬提拉鍍膜機/提拉鍍膜機/鍍膜機	面議	北京市	北京亞歐德鵬科技有限公司	2016-12-16	在線詢價
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