指標(biāo)特點

Elli-SE

μ-Spot Spectroscopic Ellipsometer

測量常數(shù)  

膜層厚度，折射率n，消光系數(shù)k，波長λ

膜層厚度，折射率n，消光系數(shù)k，波長λ

膜厚范圍

亞埃級-10微米（取決于膜層）

亞埃級-10微米（取決于膜層）

波長范圍

240 ~ 1050 nm （紫外線）

             or 380 ~ 1050 nm

光譜范圍選項：Duv深紫外:193nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm

240 ~ 1050 nm（紫外線）

光譜范圍選項：Duv深紫外:190nm, IR紅外: 900nm ~ 1700nm, 900nm~ 2,200nm

測量能力

正常模式（~10 sec）

快速（1~3 sec）每點（取決于膜層）

 

正常模式（~10 sec）

快速（1~3 sec）每點（取決于膜層）

束斑直徑-尺寸

1.5 mm  (可選 100μm, 50 μm, 20 μm)

10μm, 25 μm, 50 μm, 100μm

入射角

45°~90°（自動變換角度）

45°~90°（自動變換角度）

膜層數(shù)量

多至10層（取決于膜層）

多至10層（取決于膜層）

重復(fù)性

10次測量在(3σ) ±0.3 Å

10次測量在(3σ) ±0.3 Å

色散關(guān)系

Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力學(xué)）, Drude-TL, Drude-QM 等

Cauchy, Sellmeier, Lorentz, Tauc-Lorentz, Quantum-Mechanical（量子力學(xué)）, Drude-TL, Drude-QM等

提供功能

折射率、消光系數(shù)和光帶隙

薄膜密度和組成，材料的色散函數(shù)庫

用戶定義的模型功能，數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出功能，可擴(kuò)展庫

折射率、消光系數(shù)和光帶隙

薄膜密度和組成，材料的色散函數(shù)庫

用戶定義的模型功能，數(shù)據(jù)導(dǎo)入和導(dǎo)出功能，可擴(kuò)展庫

應(yīng)用

介質(zhì)層，半導(dǎo)體，聚合物的厚度測量、支持正反面反射、非常薄膜層，非常厚膜層、多種襯底、半導(dǎo)體材料、顯示、介質(zhì)、聚合物、化合物、太陽能電池

介質(zhì)層，半導(dǎo)體，聚合物的厚度測量、支持正反面反射、非常薄膜層，非常厚膜層、多種襯底、半導(dǎo)體材料、顯示、介質(zhì)、聚合物、化合物、太陽能電池