PTS-17系列平臺(tái)采用慣性電機(jī)作為驅(qū)動(dòng),可選配微型反饋系統(tǒng),具有優(yōu)良的定位及位置反饋性能;該系列平臺(tái)寬度均為17mm,高度均為11.5mm,結(jié)構(gòu)精巧,實(shí)現(xiàn)超小尺寸、高精度、長(zhǎng)壽命。主體采用高硬度航空鋁材質(zhì),驅(qū)動(dòng)部件可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)步進(jìn)量。因此適用于小空間、小負(fù)載、微米及納米級(jí)運(yùn)動(dòng)定位運(yùn)用場(chǎng)景。
特點(diǎn):超小體積、高重復(fù)定位精度。
使用場(chǎng)景:光學(xué)腔體、真空環(huán)境、小空間運(yùn)用場(chǎng)景。
型號(hào) | PTS-17-12/G | PTS-17-20/G | PTS-17-25/G | PTS-17-30/G | PTS-17-35/G | PTS-17-40/G | PTS-17-50/G | PTS-17-60/G |
行程(mm) | 12 | 20 | 25 | 30 | 35 | 40 | 50 | 60 |
直線(xiàn)度(μm) | 5 | 10 | 15 | 20 | 25 | 30 | 35 | 35 |
偏擺(arcsec) | ±20 | ±20 | ±20 | ±40 | ±40 | ±60 | ±60 | ±60 |
俯仰(arcsec) | ±20 | ±20 | ±20 | ±40 | ±40 | ±60 | ±60 | ±60 |
分辨率(nm) | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 | 18 |
重復(fù)定位精度(nm) | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 | ±200 |
精度(μm) | ±2 | ±2 | ±2 | ±2 | ±3 | ±3 | ±3 | ±3 |
速度(mm/s) | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 | 2 |
負(fù)載(kg) | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 | 1 |
開(kāi)環(huán)最小步進(jìn)量(nm) | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 | 10 |
閉環(huán)最小步進(jìn)量(nm) | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 | 36 |
驅(qū)動(dòng)方式 | 慣性電機(jī) | 慣性電機(jī) | 慣性電機(jī) | 慣性電機(jī) | 慣性電機(jī) | 慣性電機(jī) | 慣性電機(jī) | 慣性電機(jī) |