
產(chǎn)品名稱:薄膜厚度測量儀
薄膜厚度測量儀ST5030-SL
技術(shù)參數(shù):
活動(dòng)范圍
測量范圍 100Å~ 35?(Depends on Film Type)
光斑尺寸 40?/20?,4?(option)
測量速度 1~2 sec./site (fitting time)
應(yīng)用領(lǐng)域 All Capability of ST2000 & More Precision Measurement
Intended for Large Size Wafer Measure
選擇 Reference sample(K-MAC or KRISS or NIST)
Anti-vibration table
接物鏡轉(zhuǎn)換器 Quintuple Revolving Nosepiecs
焦點(diǎn) Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明 12v 100W Halogen Lamp
主要特點(diǎn):
·標(biāo)準(zhǔn)模型
·工業(yè)規(guī)格
·自動(dòng)的X-Y平臺
·自動(dòng)調(diào)焦
·半導(dǎo)體和裂變產(chǎn)物探測
尺寸 500 x 750 x
重量
類型 自動(dòng)
測量型號 ≤ 4"
測量方法 無連接的
測量原理 反射計(jì)
特征
測量迅速,操作簡單
非接觸式,非破壞方式
優(yōu)秀的重復(fù)性和再現(xiàn)性
2D/3D 映射和造型
自動(dòng)機(jī)械活動(dòng)控制
電荷耦合器件照相機(jī)
自動(dòng)調(diào)焦