德國斯派克分析儀器推出的 SPECTRO MIDEX M多功能X射線熒光光譜儀（XRMF）適合于微小樣品及微小區(qū)域的元素分析，分析樣品的形態(tài)可以為固體或液體，分析過程對樣品沒有損害。
儀器的樣品臺(tái)采用XYZ三軸步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，可對大到250*250mm(10*10"樣品的表面進(jìn)行線性掃描和元素分布分析。專門設(shè)計(jì)的樣品室，可適用于超大尺寸的樣品分析，可在三個(gè)不同的方向觀測樣品。樣品臺(tái)可以整體拉出，便于調(diào)節(jié)樣品位置。儀器內(nèi)設(shè)有大倍率變焦雙攝像系統(tǒng)，可準(zhǔn)確地確定測量位置。
儀器可以鎖定樣品的某個(gè)點(diǎn)或表面某個(gè)區(qū)域，然后進(jìn)行掃描分析。SPECTRO MIDEX M配有的軟件可評估測量點(diǎn)，并將所選定樣品區(qū)域內(nèi)的元素成分以圖表形式顯示出來。
SPECTRO MIDEX M 配有高分辨的檢測系統(tǒng)，并采用點(diǎn)對點(diǎn)激發(fā)，確保了儀器優(yōu)異的分析性能。通過程序控制的四種準(zhǔn)直系統(tǒng),SPECTRO MIDEX M可根據(jù)不同分析要求，來調(diào)節(jié)元素分布分析的分辨率。SPECTRO MIDEX M在單位時(shí)間內(nèi)接收的熒光脈沖數(shù)量比傳統(tǒng)技術(shù)多2倍，這樣就可以在短短的幾個(gè)小時(shí)內(nèi)完成深入細(xì)致的元素分布分析。對于鈉等輕元素的分析，可采用在分析點(diǎn)充入氦氣的方法進(jìn)行分析。SPECTRO MIDEX M也非常適合于未知樣品的點(diǎn)的快速分析，在2分鐘內(nèi)即可完成從鈉到鈾的全分析。
SPECTRO MIDEX M 不僅是生產(chǎn)過程中理想的分析儀器，也適合各種科學(xué)研究和實(shí)驗(yàn)室分析，它可以分析體積很小的樣品、研究材料組成，測定樣品表面的元素成分等。
技術(shù)規(guī)格：
激發(fā)源
· Mo靶的X光管
· 風(fēng)冷
· 達(dá)到功率：30W
· 電壓：50kV
· 達(dá)到電流：0.8mA
· 測量點(diǎn)尺寸（程序控制）：0.1mm,0.3mm,0.5mm,1mm
樣品室
· 長：540 mm
· 寬：600 mm
· 高：250 mm
· 雙攝像機(jī)成像系統(tǒng)
· XYZ三軸步進(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)， 達(dá)到行程 250*250*150mm（10*10*6"）最小步進(jìn)（分辨率）2.5μm
· 符合嚴(yán)格的ξ3 RoV(德國X射線標(biāo)準(zhǔn))輻射防護(hù)標(biāo)準(zhǔn)
計(jì)算機(jī)
· 臺(tái)式Pentium™計(jì)算機(jī)
· Windows™操作系統(tǒng)
· 鍵盤和鼠標(biāo)
· 顯示器
· 打印機(jī)
軟件
· 菜單式軟件，光譜儀參數(shù)調(diào)整和數(shù)據(jù)評估及計(jì)算，元素成分及分布顯示
檢測器
· Peltier 冷卻的Si漂移半導(dǎo)體計(jì)數(shù)器
· 以Mn Kα線，在測量計(jì)數(shù)率為1000 脈沖計(jì)數(shù)時(shí)，能量分辨率為：FWHM<150 eV
· 達(dá)到計(jì)數(shù)率可達(dá)100,000 cps
其它規(guī)格
· 電壓:100 -127或，200-240V,50/60 Hz,16A
· 光譜儀功率：500VA
· 儀器尺寸：
長：612 mm
寬：720 mm
高：790 mm
底座尺寸:
長：612 mm
寬：640 mm
重量：80 kg
