一、 說明及注意事項:
1、 凈化器氣體流量1liter/min
2、 凈化器入口氣體的純度要求大于99.999%
3、 凈化器入口氣體壓力不得大于1.0Mpa
4、 凈化器兩端堵頭螺帽在使用前不能松動,以防空氣從兩端擴散到凈化管內(nèi)部
5、 安裝使用前熟悉安裝程序,并按要求做好準備工作。
二、 安裝程序:
1、 將兩根配管中的一根與氣源連好,并用惰性氣體小氣流吹掃凈化器內(nèi)和減壓器的空氣,用專用檢漏液檢查所有接頭是否漏氣。
2、 調(diào)節(jié)氣體流量在100ml/min吹掃凈化器3個小時后接通電源適配器的電源,此時凈化器的出口氣體排入大氣中。
3、 通電過程中切不可斷開氣源或者使空氣進入凈化器內(nèi)(即使很少量的空氣也不允許),電源接通8小時后將凈化器出口接入到超純氣體使用設備并檢查接口是否泄露。
三、 其他注意事項:
1、 凈化后的氣體與用氣系統(tǒng)的連接,不得用各種橡皮管或聚乙烯管,因為這些材料的管壁都滲透氣體分子,使凈化好的氣體二次污染,降低凈化效果。
2、 如果需要停用,需要先斷開電源適配器的電源,并保持供氣超過3個小時,待凈化器內(nèi)溫度降下后方可關閉氣源,停氣后用專用接頭堵住凈化器的進出口防止空氣擴散到凈化器 內(nèi)。