| 測(cè)定時(shí)間*多縮短25%*2通過(guò)超聲波高精度、高速檢查半導(dǎo)體、電子零部件 提供利用超聲波的反射、穿透特性非破壞檢測(cè)半導(dǎo)體、電子零部件內(nèi)部的細(xì)微結(jié)構(gòu)、缺陷并將其轉(zhuǎn)換為圖像的裝置——“FineSAT 系列”。 為了應(yīng)對(duì)近年來(lái)的需求高度化，強(qiáng)化以往機(jī)型“FineSAT Ⅲ”的功能，開(kāi)發(fā)了能進(jìn)行更高精度、更高速的測(cè)定、檢查的“FineSAT Ⅴ”。 “FineSAT Ⅴ”將獨(dú)自開(kāi)發(fā)的數(shù)據(jù)處理軟件、為高速處理大量數(shù)據(jù)而新采用的64bit處理系統(tǒng)和高速、高精度掃描儀組合在一起，縮短了檢查、解析時(shí)間。 |  |
特點(diǎn)：
采用提高了解析能力的64bit處理系統(tǒng)
標(biāo)準(zhǔn)配置可*多保存、處理4億點(diǎn)超聲波測(cè)定的數(shù)據(jù)，選購(gòu)配置*1時(shí)，可*多保存、處理20億點(diǎn)超聲波測(cè)定的數(shù)據(jù)。 這樣，以往使用FineSAT Ⅲ時(shí)，對(duì)8英寸的晶圓進(jìn)行1次測(cè)定并轉(zhuǎn)換成圖像時(shí)的*小測(cè)定間距為40 µm，而現(xiàn)在使用FineSAT Ⅴ，標(biāo)準(zhǔn)配置能以20 µm的微小間距取得數(shù)據(jù)并轉(zhuǎn)換為圖像，選購(gòu)配置時(shí)，能以10 µm以下的微小間距取得數(shù)據(jù)并轉(zhuǎn)換為圖像，所以1次掃描就可完成大樣品的詳細(xì)測(cè)定。 另外，還可進(jìn)行支持高精度解析、評(píng)價(jià)的多種圖像顯示。
測(cè)定晶圓等大樣品時(shí)，掃描儀的掃描速度對(duì)測(cè)定時(shí)間的影響很大。 FineSAT Ⅴ除了采用高速掃描儀，還將超聲波脈沖的發(fā)生周期降低到1/2，這樣，測(cè)定時(shí)間縮短了25%*2。 除了加減速時(shí)，掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s*3，通過(guò)新設(shè)計(jì)的高剛性框架抑制裝置的振動(dòng)，所以高速掃描也能獲得鮮明的圖像。 標(biāo)準(zhǔn)裝備便攜控制器。 以往，移動(dòng)掃描儀內(nèi)的探頭時(shí)，要用鼠標(biāo)或鍵盤(pán)操作顯示器畫(huà)面內(nèi)的按鈕，來(lái)回移動(dòng)視線，查看、操作探頭和監(jiān)視器或鍵盤(pán)。 如果使用便攜控制器，不用離開(kāi)視線，就可對(duì)探頭位置進(jìn)行微調(diào)整。 *1GUIPC為選購(gòu)件的情況。 *2與本公司以往機(jī)型相比，因條件而有所不同。 *3因測(cè)定條件不同，*大掃描速度可能受到限制。 掃描儀的*大掃描速度提高到2,000mm/s，縮短了檢查時(shí)間 
考慮了設(shè)置場(chǎng)所、作業(yè)性的裝備
考慮在潔凈室內(nèi)的使用的情況，掃描儀的門(mén)采用上彈方式，同時(shí)，作為門(mén)的選購(gòu)件，還準(zhǔn)備了防靜電型透明板，提高了防塵性。
為了設(shè)置樣品、維護(hù)設(shè)備時(shí)可順暢拆裝臺(tái)面、框架，前面的下部窗口可向下180°全開(kāi)。
本體操作部位采用防靜電板，抑制操作員靜電的影響。
本體電源ON就可進(jìn)行升降機(jī)的升降操作。不用啟動(dòng)FineSAT軟件就可動(dòng)作。
可選擇雙顯示器。
功能：
采用的64bit處理系統(tǒng)，大幅強(qiáng)化解析功能。
| ■ 高分辨率波形顯示 能將超聲波的測(cè)定時(shí)間單位設(shè)定為以往的1/4，所以深度方向的分辨率提高到了4倍。 不斷細(xì)微化、多層化的電子裝置的薄層內(nèi)的缺陷、層間剝離的檢測(cè)、深度位置信息的精度提高。 |  |
| ■ 多焦點(diǎn) 通過(guò)掃描時(shí)連續(xù)改變焦點(diǎn)位置的功能，1次測(cè)定就可獲得對(duì)焦不同的多個(gè)深度的圖像，所以能防止漏看缺陷。 |  |
| ■ 多閘門(mén)縮略圖顯示 對(duì)于通過(guò)多閘門(mén)測(cè)定的多個(gè)不同信息的圖像，可生成縮略圖，轉(zhuǎn)換為容易選擇的一覽顯示。 縮略圖圖像可單獨(dú)變更調(diào)色板。 |  |
| ■ 覆蓋物顯示(反射圖像/透射圖像重疊) 可重疊顯示通過(guò)反射法/透射法同時(shí)測(cè)定取得的2個(gè)圖像。另外，對(duì)于顯示的圖像，可調(diào)整透明度，所以可設(shè)定為容易判斷的圖像。 ■ 作為選購(gòu)件，準(zhǔn)備了圖像銳化、體積圖像、孔隙瀏覽器等軟件 可與圖像銳化軟件（對(duì)超聲波信號(hào)劣化進(jìn)行補(bǔ)正，使圖像更加鮮明）、體積圖像軟件（在測(cè)定后將收集的波形數(shù)據(jù)解析為測(cè)定圖像和波形）、孔隙瀏覽器軟件（顯示孔隙(缺陷)后進(jìn)行合格與否判定、統(tǒng)計(jì)處理）等高度的解析軟件組合。 這種掃描方式可適于與不平整的彎曲晶圓、扭曲的被檢體。 掃描時(shí)可追隨被檢體的表面。 | |
| FSP8Ⅴ | FSP12Ⅴ | |
| 探頭頻率（MHz） | 5～200 | 5～300 |
| *高頻率（MHz） | 500 | |
| 有效行程（X×Y×Z）?。╩m） | 350×350×80 | |
| *大掃描速度（mm/s） | 2,000 | |
| *多測(cè)定點(diǎn)數(shù)（點(diǎn)） | 標(biāo)準(zhǔn)：4億 GUIPC選購(gòu)件時(shí)：20億 | |
| 外形尺寸（W×H×D） （mm） | 1,590×1,300×940（門(mén)關(guān)閉狀態(tài)） | |
| 質(zhì)量（kg） | 約470 | |
| 電源（電壓/電流/頻率） | AC100V/15A/ 50/60Hz | |
- *特殊規(guī)格請(qǐng)咨詢。還備有英語(yǔ)版軟件。
