2.6 升的LOW-COST-PLASMA-LABORANLAGE ZEPTO 為手動型，配有 PC 和 PCCE 控制系統(tǒng)，主要用于以下領(lǐng)域：
小批量生產(chǎn)
分析 (REM, TEM)
醫(yī)療技術(shù)
滅菌
研究和開發(fā)部門
考古
紡織技術(shù)
塑料技術(shù)
系列 | Zepto |
控制系統(tǒng) | 手動型 PCCE 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows CE) PC 控制系統(tǒng) (Microsoft Windows POS Ready 2009) |
體積 | 1.7~2.6L |
真空腔室 | 圓形石英玻璃 (UHP)，配有蓋子 圓形硼硅玻璃 (UHP)，配有蓋子 |
電極 | 單層或多層 |
樣品支架 | 鋁板、不銹鋼板、硼硅玻璃、石英玻璃 |
氣源 | 針型閥 質(zhì)量流量控制器 (MFCs) |
壓力計 | Pirani |
計時器 | 數(shù)字型 |
高頻電流發(fā)生器 | 40 kHz: 功率 0 - 100 W 13.56 MHz: 功率 0 - 50 W, 0-300W |
真空泵 | 4m3/H |
其他選項
備件套件、壓力計、腐蝕性氣體設(shè)計結(jié)構(gòu)、氣瓶、減壓器、加熱板、溫度顯示器、加熱型腔室、Faraday Box、等離子體聚合配件、測試墨水、 氧氣發(fā)生器、慢速通風(fēng)裝置、慢速抽吸裝置、TEM樣品架法蘭、維護/服務(wù)、當(dāng)?shù)卣Z言的文件、現(xiàn)場安裝，包括培訓(xùn)。可應(yīng)要求提供的其他選項。
