A530 描述
A530 移動式氦質(zhì)譜檢漏儀(Helium Mass Spectrometer Leak Detector)，是一款大抽速（前級泵抽速30 m3/h），低維護、高靈敏度、操作便捷的干泵檢漏儀。A530 氦質(zhì)譜檢漏儀輕松檢漏，使您放心得到快速準確可靠的測試結(jié)果。產(chǎn)品廣泛應用于科研院所、航空航天、半導體、半導體氣柜，光伏等行業(yè)。
功能特點
大抽速前級泵，工作效率高
支持正壓檢漏，負壓檢漏
優(yōu)化設計的質(zhì)譜系統(tǒng)和智能算法確保在所有量程快速響應
自動跟蹤本底功能，提供快速可靠的測量結(jié)果
高可靠性的真空系統(tǒng)和質(zhì)譜系統(tǒng)確保快速清氦
機器的性能支持7*24 小時長時間在線測試
雙銥絲離子源，系統(tǒng)設計有效的防大氣沖擊功能
配有檢漏口精細過濾器，過濾細微雜質(zhì)，確保機器不受雜質(zhì)影響和損傷
支持氮氣破空，不受環(huán)境氦氣干擾，快速降低本底有可便捷更換過濾器
指標：
最小可檢漏率：5×10-13Pa·m3/s
漏率顯示范圍：1×10-3～1×10-13Pa·m3/s
啟動時間：≤2min
響應時間：＜0.5s
檢漏口工作壓：1500Pa
前級泵抽速：30m3/h
配置：
德國普發(fā)分子泵，
渦旋干泵，30 m3/h
德國寶帝電磁閥
歌博氦質(zhì)譜分析模塊（雙銥帶離子源）
標準漏孔（10-8 Pa·m3/s）
