MX51工業(yè)檢測顯微鏡
產(chǎn)品概述
● 緊湊的設(shè)計實現(xiàn)最小的占地空間
● 鏡臂部分和鏡體分開,使高的樣品觀察成為可能
● 標(biāo)配158X158mm手動移動載物臺(可用于200mm晶圓檢查)
● 選配長工作距離物鏡,極大方便磁頭檢查
● 采用防靜電設(shè)計,極大方便磁頭檢查
● 提高系統(tǒng)靈活性和操作舒適性,滿足SEMI S2/S8標(biāo)準(zhǔn)
MX51技術(shù)規(guī)格
光學(xué)系統(tǒng):
UIS (無限遠矯正) 光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡鏡體:
Z軸同軸粗微調(diào)調(diào)焦，載物臺行程范圍：32mm(從焦面上行2mm和下行30mm)
行程相同：15mm(配合透射光照明)
Z軸微調(diào)焦每旋轉(zhuǎn)一周的行程0.1mm(1個單位1μm)
調(diào)焦機構(gòu)張力可調(diào)
有調(diào)焦上限位機構(gòu)
照明系統(tǒng):
· BX-KMA明視場照明器
· BX-RLA2明視場/暗視場照明器
· BX-URA2照明器
透射照明:
明視場MX-TILLK照明燈，配備光纖照明附件
(MX-TILLK須與MX-SIC6R2配合使用)
