規(guī)格 | IR | SHG | THG | FHG |
波長(zhǎng) | 1030 nm | 515 nm | 343 nm | 257 nm |
平均功率 | >5W (20W可選) | >2W (8W可選) | >0.75W (3W可選) | >0.5W (2W可選) |
脈沖能量 | >40uJ | >16uJ | >6uJ | >40uJ |
脈沖持續(xù)時(shí)間 | <350 fs to 10 ps | |||
重復(fù)率 | 單脈沖-2 MHz | |||
波長(zhǎng)轉(zhuǎn)換時(shí)間 | <2 s | |||
光束指向穩(wěn)定性 | <25 urad/℃ | |||
功率穩(wěn)定性 | <1% rms over 100h | |||
邊帶不對(duì)稱性 | < 13% | |||
M2 | < 1.2 | |||
預(yù)熱時(shí)間 | <30 min | |||
尺寸 | 52 x 33 x 19 cm | |||
電源 | 2U rackable | |||
重量 | 激光頭+HG:<23kg;控制器:15kg |
四種波長(zhǎng):IR、Green、UV和DUV,用于金屬、p-Si、ITO、隔離物和化合物等不同材料加工。
飛秒脈沖,可實(shí)現(xiàn)優(yōu)質(zhì)薄涂層移除、低熱影響區(qū)切割。
空氣致冷,結(jié)構(gòu)緊湊輕便、堅(jiān)固,適合龍門(mén)系統(tǒng)上平滑集成。