SZT-K型兩探針電阻率測試臺
操作使用說明書
一 、功能與結(jié)構(gòu)特征概述
基本功能：SZT-K1型兩探針電阻率測試臺，是用來裝夾棒類樣品（圓或方截面），連接四探針測試儀器，進行兩探針法電阻率測試的機具。是兩探針法測試電阻率儀器的配套測量裝置（以下簡稱測試臺）。設計符合GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測定方法》，GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測定直流兩探針法》，GBT 24525-2009 《炭素材料電阻率測定方法》。
基本組成：測試臺主要有底板、雙軌水平導向單元、探頭水平移動及測試壓力調(diào)節(jié)單元、左右樣品裝夾單元等。
配套與兼容：本測試臺自帶兩探針測試探頭，兼容本公司大部分四探針測試儀器。
二、基本參數(shù)和可測半導體材料尺寸
兩探針針距：10mm,15mm,20mm可調(diào)
可測樣品：直徑或邊長: 圓截面≤ Φ50mm，或≤ 50mm×50mm方截面。
長(或高)度： 兩端面頂持方式L≤420mm, 側(cè)面夾持方式不限.
測量方位： 軸向（長度方向）。
三 、使用方法
3.1 放置樣品：
根據(jù)樣品長短和需要選擇樣品裝夾方式，對于較粗短的適合用兩端面對頂夾持方式，如圖3.1A。對于較細長的樣品適合用兩端側(cè)面夾持的方式，如圖3.1B。
兩端面夾持的方式樣品放置操作步驟如下：
首先，把紅色扳手向上向后板起，把兩探針測試探頭向上抬起，便于樣品裝夾，圖3.2A,轉(zhuǎn)動測試臺底板右側(cè)手輪，使得右裝夾電極單元移動到左右電極距離稍大于樣品長度，如圖3.2A，左手托起樣品，水平置于兩電極之間，參照左右電極的“V”型槽和測試探頭探針位置，將樣品水平置于探頭探針正下方，合適的垂直高度，右手轉(zhuǎn)動手輪，向左移動右電極將樣品從兩端面夾緊。如圖3.2B。為了樣品和電極接觸良好，在接觸面墊上炭紙，下同。
兩端側(cè)面夾持的方式樣品放置操作步驟如下：
參照圖3.1B,參照端面夾持的方式，不同的是，先調(diào)節(jié)左右電極上的夾緊螺母，使得左右兩個活動上電極先向上，使得上下電極反“V”型槽之間有足夠空間穿放樣品。樣品放好，調(diào)節(jié)垂直鎖緊螺母，夾緊樣品。如圖3.2C。
3.2探頭探針壓力調(diào)整：
將測試臺上部操作扳手向前向下，壓下探頭。如圖3.3A,在探頭壓下的狀態(tài)下，可根據(jù)樣品上側(cè)面和探頭探針尖的距離，如圖3.3B,調(diào)節(jié)測試臺垂直導軌支架中部螺桿上的螺母（先松開鎖緊螺帽），如圖3.3C,觀察探頭探針壓下程度，調(diào)節(jié)測試壓力！一般以探針被壓縮2mm行程為宜。調(diào)好后鎖緊鎖緊螺帽。
3.3 調(diào)節(jié)修正系數(shù)，讀取電阻率值：
根據(jù)樣品截面S和兩探針針距L,查說明書附表，得修正系數(shù)K,輸入到儀器中，直接讀取電阻率值，儀器操作參考所配儀器說明書。
3.4 測試樣品不同段點的電阻率值：
一個段點測試完畢，抬起探頭，水平移動探頭單元，在選擇的另一段點壓下探頭即可，直接讀取電阻率值。
3.4 付卸樣品：
先抬起探頭，對于端面夾持的樣品，要在手托好樣品后，轉(zhuǎn)動手輪松開樣品，再移去樣品。對于穿芯式側(cè)面夾持的樣品，松開兩電極上方的鎖緊螺母后，從兩端抽取出樣品。
五、：/ 丁先生
