轉(zhuǎn)讓一臺(tái)二手1550臥式蒸發(fā)鍍膜機(jī)
產(chǎn)品名:OTFC-1550DBI 型式:1500DBI
原裝高配OTFC-1550光馳機(jī)(年份:2015. 11
日本電子16P雙槍,23 寸光馳RF離子源
275機(jī)械泵+愛德華配套羅茨泵
HOM2R-VIS350A光學(xué)膜厚監(jiān)控儀
XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器
1.產(chǎn)品參數(shù):
真空室中1550 X 1800mm(H)
工件架φ1400mm工件架轉(zhuǎn)速10rpm to 30rpm (可變)
光學(xué)膜厚控制HOM2- R-VIS350A
波長(zhǎng)范圍:350nm to 1100nm 光學(xué)膜厚監(jiān)控儀反射式/透射式
水晶式膜厚計(jì)XTC/3+6點(diǎn)式水晶傳感器
蒸發(fā)源電子槍2套
離子源17cmRF 離子源
機(jī)械泵:排氣系統(tǒng)2個(gè)擴(kuò)散泵Polycold(或2 個(gè)冷凝泵)
2. 性能:達(dá)到壓力7.0X10-5Pa以下排氣時(shí)間20分 (大氣壓,1.3X10- 3Pa)基板溫度:350
3. 設(shè)備尺寸:約5500mn(W) X 7200mm()X3700mm(H) 3相, 200v, 50/60Hz,
4. 電源約120KVA 水流量180 升/分以上 空氣壓力0. 5MPa以上
5. 重量約11000kg
轉(zhuǎn)讓一臺(tái)二手1550臥式蒸發(fā)鍍膜機(jī)