帶有調(diào)節(jié)單元和控制閥等組成一體的熱式質(zhì)量流量控制器,結(jié)構(gòu)如圖所示,基于金氏定律的浸入型TMF金氏定律的熱絲熱散失率表述各參量間關(guān)系,如式2所示。H/L=△T[λ+2(πλcvρUd]1/2(2)式中H/L———單位長度熱散失率, J/m·h;ΔT———熱絲高于自由流束的平均升高溫度,K;λ———流體的熱導(dǎo)率, J/h·m·K;cV———定容比熱容, J/kg·k;ρ———密度, kg/m3;U———流體的流速,m/h;d———熱絲直徑。
質(zhì)量流量控制器: