▲適用于與Inconel® 或 Inconel/ 不銹鋼相容的氣體
▲壓力范圍：0~10 Torr 至0~1000Torr，0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa，0~2 psia 至0~20psia，0~2 kpa 至0~100kpa
介紹
Setra Model 760 電容壓力計(jì)是為精確的、可重復(fù)的真空測(cè)量而設(shè)計(jì)的壓力傳感器。滿量程范圍從10Torr 到1000Torr。測(cè)量單位可以是Torr，mbar/hpa，kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是15VDC，輸出0~10VDC 或0~5VDC，輸出與壓力成線性關(guān)系，而且與氣體成分無(wú)關(guān)。電氣連接件可以是工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)15 針D 型插座或6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和ESD 抑制元件以及輸入輸出的RFI 過(guò)濾等技術(shù)，Model 760 具有的EMI/RFI 性能。Model 760 有一個(gè)完整的滑面，很容易提供有精確的零點(diǎn)調(diào)節(jié)和量程調(diào)節(jié)的多匝電位計(jì)。Inconel® 材質(zhì)適用于全部濕原料所以可測(cè)量腐蝕性氣體，另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。Model 760 中高精度的壓力傳感元件VactronSensor，是在Setra 技術(shù)可變電容傳感技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展來(lái)的。在敏感元件*有一個(gè)饋入裝置組件支持一個(gè)鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個(gè)低壓接近真空的空間內(nèi)組成了一個(gè)可變電容。這一電容的變化被Setra *的集成電路檢測(cè)并被轉(zhuǎn)換成高精度的線性直流信號(hào)，該集成電路是根據(jù)西特技術(shù)負(fù)荷平衡原理設(shè)計(jì)的。Model 760 采用革新的傳感設(shè)計(jì)獲得了的零點(diǎn)穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了與陶瓷式結(jié)構(gòu)相似的電容式壓力計(jì)。
注：Setra 堅(jiān)持嚴(yán)格的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)ANSI-Z540-1。此產(chǎn)品的標(biāo)定源于NIST。
應(yīng)用
● 半導(dǎo)體過(guò)程工具和裝置
● 實(shí)驗(yàn)室和研究開(kāi)發(fā)
● 實(shí)驗(yàn)和測(cè)量
● 度量
● 分析化學(xué)系統(tǒng)
特點(diǎn)
■ 的熱穩(wěn)定性
■ 出眾的EMI/RFI 性能
■ 低價(jià)位
■ 小巧緊湊的結(jié)構(gòu)
■ 耐腐蝕的Inconel® 濕部件
■ 多種壓力連接和電氣連接方式
■ 符合CE 標(biāo)準(zhǔn)
性能參數(shù) 物理參數(shù) 電氣電壓(電壓) 精度A ±0.25%of Reading 殼體 鋁合金 電路 4線 精度B ±0.15%of Reading 電氣連接 15針D型插座或 6位螺紋接線端子 激勵(lì) ±15VDC,調(diào)整范圍5% 輸出2 0～10VDC或0～5VDC 溫度影響 壓力接頭 見(jiàn)訂購(gòu)信息 功耗 ﹤0.5w(﹤15mA) 補(bǔ)償范圍 0～+50℃(+32～+122℉) 腔體體積 ﹤6cm3 零點(diǎn)偏移 ±0.005%FS/℃ 零點(diǎn)/滿量程調(diào)節(jié) 多匝點(diǎn)位計(jì) (在畫(huà)面底部) 壓力介質(zhì) 與Inconel或InconeV不銹鋼相容的氣體。Inconel濕部件僅配0.5管的節(jié)頭,選擇其他的 接頭增加不銹鋼. 滿程偏移 ±0.02 重量 260克(約9盎司) 分辨率 無(wú)限的,僅受輸出噪聲的限制(0.01%FS) 環(huán)境參數(shù) 溫度 1. 工作溫度的限制僅對(duì)電子元件而言,壓力介質(zhì)溫度可以更高或更低. 2. 采用50K的負(fù)載進(jìn)行標(biāo)定,可接10000或更大的負(fù)載。 耐壓 45psia 工作溫度1 0～+50℃ 時(shí)間常數(shù) ﹤20ms 儲(chǔ)存溫度 -50～+125℃
