MPS-10X型多功能型探針臺
產(chǎn)品簡介 ：
在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試得探針臺相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低得簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺，探針座，四維調(diào)整載片臺（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；
在實(shí)際得科研生產(chǎn)中，由于樣品/晶圓（Wafer）得尺寸越來越大，用于測試得探針臺相當(dāng)昂貴，我司根據(jù)客戶市場應(yīng)用自主研發(fā)得這款結(jié)構(gòu)小巧，功能實(shí)用，成本較低得簡易式探針臺，在滿足基本測試功能基礎(chǔ)上，去除了非必要得部件，該探針臺系統(tǒng)包含：光學(xué)成像部分，隔振平臺，探針座，四維調(diào)整載片臺（Chuck），真空吸附系統(tǒng)；
主要技術(shù)指標(biāo)：
結(jié)構(gòu)緊湊，功能實(shí)用，價格實(shí)惠
大可用于12寸以內(nèi)樣品測試
兼容高倍率電子顯微鏡，可360°旋轉(zhuǎn)和微調(diào)升降
漏電流精度：10pA/100fa（屏蔽箱內(nèi)）
精密絲杠/燕尾傳動結(jié)構(gòu)，線性移動，無回程差設(shè)計
應(yīng)用于高等院校/研究所/公司實(shí)驗(yàn)室使用
1微米以上電極/PAD使用
模塊化設(shè)計，可以根據(jù)應(yīng)用增加和去除相應(yīng)模塊
技術(shù)參數(shù)選型：
規(guī)格/參數(shù) | |||||||
型號 | MPS-4 | MPS-6 | MPS-8 | MPS-12 | |||
電力需求 | 220VC,50-60HZ | ||||||
樣品臺 | 尺寸 | 4寸 | 6寸 | 8寸 | 12寸 | ||
行程 | XY行程50mm，Z軸升降60mm，360°旋轉(zhuǎn)可鎖緊 | ||||||
移動精度 | 標(biāo)配10μm，可升級（5μm，3μm，1μm） | ||||||
背電極測試功能 | 可以引出電極 | 可以引出電極 | 可以引出電極 | 可以引出電極 | |||
定制模塊 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | 可定制位移行程和精度 | |||
探針調(diào)整座 | XYZ行程 | 13mm-13mm-13mm | |||||
機(jī)械精度 | 標(biāo)配10μm，可升級（5μm，3μm，1μm） | ||||||
漏電精度 | 10pA-100fA（配置屏蔽箱） | ||||||
安裝方式 | 直接磁力吸附/可調(diào)磁力吸附/真空吸附 | ||||||
接口形式 | 香蕉插頭/鱷魚夾/同軸BNC/三同軸BNC | ||||||
光學(xué)成像 | 放大倍數(shù) | 7-200倍（大可升級到720倍） | |||||
CCD像素 | 500W（可升級200W） | ||||||
中心距離 | 140mm，升降范圍270mm，總高度350mm | ||||||
顯示器 | 8寸顯示器，將3-17mm的樣品放大到整個屏幕（可升級大尺寸顯微鏡） | ||||||
可選附件 | 加熱卡盤 | 高低溫卡盤 | 鍍金卡盤 | ||||
隔振支架 | 積分球測試選件 | 屏蔽箱 | |||||
射頻測試附件 | 導(dǎo)入光源支架 | 波長單色可調(diào)光纖光源（測光電流） | |||||
顯微鏡調(diào)節(jié)手動/電動調(diào)節(jié)裝置 | 激光切割顯微鏡 | 轉(zhuǎn)接頭配件 | |||||
