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顯微型曝光裝置-應(yīng)力松馳測(cè)試儀

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  • 廠商性質(zhì)經(jīng)銷(xiāo)商
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  • 產(chǎn)品數(shù)量17
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產(chǎn)地國(guó)產(chǎn) 加工定制
顯微型曝光裝置
UTA系列是將DLP投影儀盒金相顯微鏡相結(jié)合的縮小投影型無(wú)掩模曝光系統(tǒng),其*傳統(tǒng)系統(tǒng)(用于掩膜光刻的圖案投影曝光系統(tǒng)) 可以使用專(zhuān)門(mén)為此目的開(kāi)發(fā)的軟件來(lái)創(chuàng)建想要的圖案。
顯微型曝光裝置-應(yīng)力松馳測(cè)試儀 產(chǎn)品詳情

 

LED曝光裝置概述:顯微型曝光裝置
 

  • 顯微鏡LED曝光單元UTA系列是不需要掩模的用于光刻的圖案投影曝光裝置。
  • 使用金相顯微鏡盒LED光源DLP投影儀,將具有機(jī)微米分辨率的任意圖案投影到涂有抗蝕劑的基板上進(jìn)行曝光。
  • 圖案可以在PC上自由創(chuàng)建。
  • 因?yàn)榭梢栽谄胀ǖ氖覂?nèi)環(huán)境中在各種大小盒形狀的單晶薄片上形成電極,所以它比電子束光刻便宜且簡(jiǎn)單,不需要制造昂貴的電極圖案掩膜。


顯       顯微鏡LED曝光單元(無(wú)掩模曝光系統(tǒng))應(yīng)用:顯微型曝光裝置
 

  • 薄膜FET和霍爾效應(yīng)測(cè)量樣品的電極形成
  • 從石墨烯/鉬原石中剝離電極形成并評(píng)估其特性
  • 研發(fā)應(yīng)用的圖案形成。


          顯微鏡LED曝光單元(無(wú)掩模曝光系統(tǒng))應(yīng)用:
 

  • 由于顯微鏡和DLP的結(jié)合,可以用很低的成本來(lái)構(gòu)建系統(tǒng)。
  • 易于使用的軟件可以輕松的創(chuàng)建曝光圖案
  • 通過(guò)物鏡放大倍率圖案,可以進(jìn)行大范圍的批量曝光
  • 可以連接到您自己的顯微鏡上(選項(xiàng))
  • 分辨率在微米級(jí)
  • 曝光范圍:大2.5mm×1.5mm    小100um×60um
  • 可以連接到您自己的顯微鏡上(選項(xiàng))
  • 分辨率在微米級(jí)
  • 曝光范圍:大2.5mm×1.5mm    小100um×60um
  •  UTA系列是將DLP投影儀盒金相顯微鏡相結(jié)合的縮小投影型無(wú)掩模曝光系統(tǒng),其*傳統(tǒng)系統(tǒng)(用于掩膜光刻的圖案投影曝光系統(tǒng))  可以使用專(zhuān)門(mén)為此目的開(kāi)發(fā)的軟件來(lái)創(chuàng)建想要的圖案。
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