NanoCalc 反射膜厚測(cè)量系統(tǒng)
薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉。NanoCalc薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)可以用來(lái)進(jìn)行10nm -250um的膜厚分析測(cè)量，對(duì)單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測(cè)量軟件的不同，在1秒鐘內(nèi)可以分析單層或多達(dá)到10層的膜厚。
NanoCalc 反射膜厚測(cè)量系統(tǒng)薄膜的光學(xué)特性主要有反射和干涉。NanoCalc薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)可以用來(lái)進(jìn)行10nm -250um的膜厚分析測(cè)量，對(duì)單層膜的分辨率為0.1nm。根據(jù)測(cè)量軟件的不同，在1秒鐘內(nèi)可以分析單層或多達(dá)到10層的膜厚。
產(chǎn)品特點(diǎn)NanoCalc 反射膜厚測(cè)量系統(tǒng)
- 可分析單層或多層薄膜；
- 分辨率達(dá)0.1nm；
- 適合于在線監(jiān)測(cè)；
使用原理
常用的兩種測(cè)量薄膜的特性的方法為光學(xué)反射和投射測(cè)量、橢圓光度法測(cè)量。NanoCalc利用反射原理，通過(guò)測(cè)量寬光譜范圍內(nèi)的反射率曲線來(lái)進(jìn)行膜厚測(cè)量。
查找n和k值 可以進(jìn)行多達(dá)十層的薄膜測(cè)量，薄膜和基體材質(zhì)可以是金屬、電介質(zhì)、無(wú)定形材料或硅晶等。NanoCalc軟件包含了大多數(shù)材料的n和k值數(shù)據(jù)庫(kù)，用戶也可以自己添加和編輯。 應(yīng)用 NanoCalc薄膜反射材料系統(tǒng)適合于在線膜厚測(cè)量，包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測(cè)量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗磨涂層等。 可調(diào)諧低通濾光片（Tunable Short Pass Filter)：低通濾光片的角度調(diào)諧可以改變截止波長(zhǎng)?？梢愿淖兊耐高^(guò)范圍是截至波長(zhǎng)的12%。 寬譜截止帶通濾光片(Full Spectrum Blocking Filter)：濾光片具備了超寬光譜范圍的深度截止，截止能力可達(dá)OD6. |
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