INFICON Bayard-Alpert Pirani 復(fù)合真空計(jì) BPG402-S 將 Bayard-Alpert 和 Pirani 兩種真空計(jì)的功能融合入單個緊湊型裝置中，測量范圍為 5 X 10 -10 mbar至大氣氣壓（3.8 x 10-10 Torr 至大氣氣壓)。 多項(xiàng)技術(shù)相結(jié)合降低了安裝、設(shè)置和集成的復(fù)雜性。 為負(fù)擔(dān)

不重且可重復(fù)的過程選擇帶有雙氧化釔銥絲的 皮拉尼復(fù)合真空計(jì)BPG402-S，以經(jīng)濟(jì)高效的方式執(zhí)行基本壓力測量。 傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，保證更換傳感器時的高再現(xiàn)性。

INFICON Bayard-Alpert Pirani

*從 5 x 10 -10 mbar 至大氣氣壓（3.8 x 10 -10 Torr 至大氣氣壓）的極其寬泛的測量范圍

• 10 -8 - 10 -2 mbar 過程壓力范圍內(nèi)低至 5% 的優(yōu)良的可重復(fù)性。

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• Pirani 聯(lián)鎖保護(hù)絲極，防止過早燒毀

• 雙長使用壽命氧化釔銥絲

• 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

• 高真空Pirani 自動調(diào)節(jié)，減少操作員的干預(yù)

• 傳感元件帶有板載校準(zhǔn)數(shù)據(jù)，易于更換，可保證高再現(xiàn)性

• 對半導(dǎo)體過程和傳輸腔室的壓力測量

• 工業(yè)鍍膜

• 低真空至超高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制

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