NanoCalc 反射膜厚測(cè)量系統(tǒng)
薄膜的光學(xué)特性一般基于反射和干涉。NanoCalc薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)可以分析10nm -250um的膜厚。對(duì)單層膜的分辨率可達(dá)0.1nm。通過測(cè)量軟件不同設(shè)置，用戶可以在1秒鐘內(nèi)分析單層或多達(dá)到10層的膜厚?？蓽y(cè)試的薄膜種類有半導(dǎo)體工藝薄膜、防劃傷膜、硬膜以及增透膜等。
NanoCalc 反射膜厚測(cè)量系統(tǒng)薄膜的光學(xué)特性一般基于反射和干涉。NanoCalc薄膜反射測(cè)量系統(tǒng)可以分析10nm -250um的膜厚。對(duì)單層膜的分辨率可達(dá)0.1nm。通過測(cè)量軟件不同設(shè)置，用戶可以在1秒鐘內(nèi)分析單層或多達(dá)到10層的膜厚?？蓽y(cè)試的薄膜種類有半導(dǎo)體工藝薄膜、防劃傷膜、硬膜以及增透膜等。
產(chǎn)品特點(diǎn)NanoCalc 反射膜厚測(cè)量系統(tǒng)
- 可分析單層或多層薄膜；
- 分辨率達(dá)0.1nm；
- 適合于在線監(jiān)測(cè)；
使用原理
常用的兩種測(cè)量薄膜的特性的方法為反射/透射測(cè)量，橢偏測(cè)量。NanoCalc利用反射原理，通過測(cè)量寬光譜范圍內(nèi)的反射率曲線來進(jìn)行膜厚測(cè)量。
查找n和k值 |  |
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應(yīng)用
NanoCalc薄膜反射材料系統(tǒng)適合于在線膜厚測(cè)量，包括氧化層、中氮化硅薄膜、感光膠片及其它類型的薄膜。NanoCalc也可測(cè)量在鋼、鋁、銅、陶瓷、塑料等物質(zhì)上的抗反射涂層、抗磨涂層等。
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研發(fā)和代理的產(chǎn)品可以廣泛應(yīng)用到光電子、光通訊、激光、材料科學(xué)、物理、電子、生物等科研領(lǐng)域，為這些領(lǐng)域的實(shí)驗(yàn)研究提供前端技術(shù)的產(chǎn)品和服務(wù)支持。對(duì)于與光電子、激光加工、新材料加工等相關(guān)的生產(chǎn)企業(yè)，同樣可以從本公司得到相關(guān)的產(chǎn)品和服務(wù)。
