二維集成式工作臺通過柔性鉸鏈機構對壓電陶瓷進行直接放大驅動以實現(xiàn)無間隙無耦合的微位移傳動，具有沿X軸方向和Y軸方向的二維運動，行程從10μm至200μm。二維集成式工作臺可集成電阻應變片以實現(xiàn)高精度閉環(huán)控制，并可根據(jù)客戶需求定制更小尺寸的微動臺
主要參數(shù)
| MPT-2JN/RL010 | MPT-2JN/RL025 | MPT-2JN/RL050 | MPT-2JN/RL100 | MPT-2JN/RL200 | |
| 運動自由度 | X,Y | X,Y | X,Y | X,Y | X,Y |
| 行程范圍 (μm±10%) | 10X10 | 25X25 | 50X50 | 100X100 | 200X200 |
| 位移分辨率 (nm) | 1 | 2.5 | 5 | 10 | 20 |
| 重復定位精度 (nm) | -/10 | -/25 | -/50 | -/100 | -/200 |
| 運動方向大推力 (N) | 1000 | 1000 | 1000 | 300 | 300 |
| 運動方向大拉力 (N) | 200 | 250 | 250 | 45 | 50 |
| 大負載 (Kg) | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 |
| 固有頻率 (Hz) | 750 | 500 | 400 | 200 | 140 |
| 重量 (g±5%) | 300 | 400 | 800 | 950 | 1300 |
| 工作電壓 (V) | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 | 0～150 |
| 工作溫度范圍 (℃) | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 | -20～80 |
| 外型尺寸 A×B (mm) | 100×100 | 140×106 | 170×120 | 150×150 | 170×170 |
| 外型尺寸 C×D (mm) | 84×84 | 124×90 | 148×104 | 140×140 | 160×160 |
| 運動部分 K×L (mm) | 20×23.5 | 21×24.5 | 23×26.5 | 21×24.5 | 21×24.5 |
| 運動部分 E×F (mm) | 40×40 | 55×55 | 70×70 | 45×45 | 50×50 |
| 運動部分 H×I (mm) | 30×30 | 45×45 | 60×60 | 35×35 | 40×40 |
| 運動部分 G1×G2 (mm) | 40×40 | 53×53 | 60×60 | 80×80 | 90×90 |
| 安裝尺寸 M×N (mm) | 4.5×8 | 4.5×8 | 5.5×10 | 4.5×8 | 4.5×8 |
| 安裝尺寸 J | M4 | M4 | M4 | M4 | M4 |
開環(huán)工作臺*匹配電源型號：HPV-3C0150A0500;閉環(huán)工作臺*匹配電源型號：PPC-2CR0150
