羅茨泵機組 - 干式、油式的多級泵
羅茨泵與多級前級泵相結(jié)合。該泵站的高抽速使得較高的極限壓力成為現(xiàn)實。
干式羅茨泵站是面向高要求工藝（例如半導(dǎo)體行業(yè)）的解決方案。減少了保護設(shè)備的泵站可用于需求稍松的工藝，例如裝載互鎖應(yīng)用，或在濺射工藝中用作前級泵。從小真空室到太能陽技術(shù)大吞吐量和顯示面板制造，我們都可以提供解決方案。
羅茨泵機組 - 干式、油式的多級泵
羅茨泵與多級前級泵相結(jié)合。該泵站的高抽速使得較高的極限壓力成為現(xiàn)實。
干式羅茨泵站是面向高要求工藝（例如半導(dǎo)體行業(yè)）的解決方案。減少了保護設(shè)備的泵站可用于需求稍松的工藝，例如裝載互鎖應(yīng)用，或在濺射工藝中用作前級泵。從小真空室到太能陽技術(shù)大吞吐量和顯示面板制造，我們都可以提供解決方案。
羅茨泵機組 - 干式、油式的多級泵
優(yōu)勢
- 干燥無油的吸入室
- 這些解決方案提供了泵容量和高可靠性。
應(yīng)用
- 鍍膜
- 冶金
- 真空干燥
- 脫氣
- 光伏
- 研發(fā)
- 化學(xué)工業(yè)
將傳統(tǒng)羅茨泵與油潤滑旋片泵相結(jié)合。這些泵組提供良好的真空度，同時有較高的抽速。將旋片泵與羅茨泵結(jié)合以獲得泵組，這種方式可謂經(jīng)典解決方案，可以實現(xiàn)真空室的快速排空和中高真空下的工藝氣流傳輸。對于許多行業(yè)工藝而言，使用油封前級泵仍然是的選擇，因為就購買價格以及產(chǎn)品生命周期成本而言，它代表了耐用和成本效益的解決方案。
優(yōu)勢
- 從基本的泵系統(tǒng)到全面的泵系統(tǒng)，
- 泵容量和高可靠性
應(yīng)用
- 裝載互鎖
- 鍍膜
- 冶金
- 研發(fā)
- 一般工業(yè)應(yīng)用
