S20/S21壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)為一維θz旋轉(zhuǎn)臺(tái)，產(chǎn)品體積小巧，大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad，承載能力達(dá)2kg，可帶動(dòng)鏡片做精密旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。
特性：
• θz旋轉(zhuǎn)
• 大旋轉(zhuǎn)角度8.5mrad
• 閉環(huán)定位精度高
• 響應(yīng)速度快
• 體積小巧
典型應(yīng)用
• 光路調(diào)整 • 干涉
• 光束掃描 • 計(jì)量
應(yīng)用實(shí)例
S21系列壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)可以與芯明天任意平臺(tái)或傾斜臺(tái)配合使用， 組成多軸精密壓電定位臺(tái)，用于多維精密直線與旋轉(zhuǎn)定位操作。
小體積、高分辨率、高精度
S21θz一維旋轉(zhuǎn)臺(tái)采用機(jī)構(gòu)放大設(shè)計(jì)原理，可以實(shí) 現(xiàn)大8.5mrad的旋轉(zhuǎn)，體積小巧、結(jié)構(gòu)緊湊，尺寸僅 為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉(zhuǎn)設(shè)備中。
采用壓電陶瓷作為驅(qū)動(dòng)元件，臺(tái)體采用柔性鉸鏈機(jī) 構(gòu)，無(wú)摩擦、無(wú)回差，可以實(shí)現(xiàn)0.2μrad的分辨率。內(nèi) 置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實(shí)現(xiàn)微弧度的定位精 度，在光路精密角度調(diào)整中起著非常重要的作用。
驅(qū)動(dòng)控制方式
S21為θz一維壓電旋轉(zhuǎn)臺(tái)，單通道壓電控制器即可驅(qū)動(dòng)控制，閉 環(huán)版本P21配套E01系列閉環(huán)控制器，實(shí)現(xiàn)θz高精度旋轉(zhuǎn)定位控制。
N20/P21壓電偏擺/旋轉(zhuǎn)臺(tái)技術(shù)參數(shù)：
型號(hào) | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開環(huán) | S21.R7S S21.R7K | 單位 |
運(yùn)動(dòng)自由度 | θz | ||
標(biāo)稱旋轉(zhuǎn)角度 (0~+120V) | 6 | mrad±20% | |
大旋轉(zhuǎn)角度 (-20~+150V) | 8.5 | mrad±20% | |
傳感器類型 | SGS/- | ||
閉/開環(huán)分辨率 | 0.4/0.2 | μrad | |
閉環(huán)線性度 | 0.5/- | %F.S. | |
閉環(huán)重復(fù)定位精度 | 0.2/- | %F.S. | |
推/拉力 | 10/5 | N | |
運(yùn)動(dòng)方向剛度 | 1 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | 1.1 | kHz±20% | |
閉/開環(huán)空載階躍時(shí)間 | 30/1.5 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% |
行程 | 15 | ||
大承載 | 2 | kg | |
靜電容量 | 1.8 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋁 | ||
重量 | 105 | g±5% | |
以上參數(shù)是采用E00系列壓電控制器測(cè)得。
