θxθy軸壓電偏擺鏡內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，確保了壓電偏擺鏡具有的運(yùn)動(dòng)控制精度，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。緊湊型設(shè)計(jì)，可更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)中?？筛鶕?jù)用戶需求定制安裝及出線方式。
θxθy軸壓電偏擺鏡產(chǎn)品應(yīng)用：
圖像處理/穩(wěn)定 隔行掃描，抖動(dòng) 激光掃描 光束偏擺/穩(wěn)定 激光通信 光過濾/轉(zhuǎn)換 納米定位
θxθy軸壓電偏擺鏡產(chǎn)品特性
◆ 結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成；
◆ 超大擺角高達(dá)；
◆ 采用無摩擦、無回差緊湊的差分式并聯(lián)結(jié)構(gòu)柔性導(dǎo)向系統(tǒng)，具有超高的導(dǎo)向精度；
◆ 內(nèi)置高性能的壓電陶瓷，高可靠性；
◆ 內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，開/閉環(huán)可供選擇，可提供定制安裝及出線方式。
技術(shù)參數(shù);
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上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限公司（簡稱“納動(dòng)納米”、“NanoMotions”），坐落于上海漕河涇新興技術(shù)開發(fā)區(qū)，是一家專業(yè)集精密機(jī)械、精密驅(qū)動(dòng)、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學(xué)等各領(lǐng)域的技術(shù)于一體的*，專注于超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)與產(chǎn)品的開發(fā)，并致力于創(chuàng)新開發(fā)壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設(shè)備提供系統(tǒng)的技術(shù)解決方案，滿足于國內(nèi)外市場對(duì)超精密納米級(jí)定位及運(yùn)動(dòng)控制技術(shù)需求的專業(yè)研發(fā)制造商。
上海納動(dòng)納米位移技術(shù)有限貴公司自主研發(fā)的產(chǎn)品涵蓋壓電陶瓷元件、疊堆壓電陶瓷、封裝型壓電陶瓷/促動(dòng)器、納米級(jí)精密定位臺(tái)/掃描臺(tái)、壓電納米定位平移臺(tái)/升降臺(tái)/偏擺臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)、納米級(jí)光束偏轉(zhuǎn)鏡、納米級(jí)顯微掃描平臺(tái)、納米級(jí)物鏡聚焦/掃描器、納米級(jí)紅外微掃描器、壓電微操作鉗、壓電微分頭、壓電馬達(dá)/電機(jī)、壓電螺旋促動(dòng)器、壓電點(diǎn)膠閥、壓電機(jī)床微進(jìn)給平臺(tái)、六軸并聯(lián)微位移定位系統(tǒng)、高精度位移傳感器、壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)/控制器、高精度微位移測量系統(tǒng)等系列產(chǎn)品。
壓電Tip / Tilt平臺(tái)內(nèi)部使用無回差柔性鉸鏈并聯(lián)導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，補(bǔ)償量小，確保了擺鏡的運(yùn)動(dòng)精度和超高的穩(wěn)定性。
平臺(tái)采用緊湊的差分并聯(lián)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)且內(nèi)置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)的位置反饋，定位精度、分辨率和穩(wěn)定性可以達(dá)到納米量級(jí)，定位穩(wěn)定時(shí)間僅為毫秒量級(jí)。
緊湊型設(shè)計(jì)，可更好的集成于光學(xué)系統(tǒng)中。內(nèi)部有一個(gè)或多個(gè)壓電陶瓷，由壓電陶瓷產(chǎn)生單軸或者多軸的運(yùn)動(dòng)。納動(dòng)設(shè)計(jì)和制造的納米位移臺(tái)使用柔性鉸鏈技術(shù)將運(yùn)動(dòng)裝置連接到固定基座上。
納米位移臺(tái)內(nèi)置高精密傳感器，閉環(huán)控制時(shí)，傳感器技術(shù)在保證線性度的前提下，可以實(shí)現(xiàn)納米級(jí)別、亞納米級(jí)別的分辨率。
