是結(jié)合單/雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器橢偏調(diào)制技術(shù)和光學(xué)成像技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的實(shí)時(shí)可視化分析測(cè)量。可同時(shí)高橫向分辨率的得到視場(chǎng)內(nèi)樣品上所有微區(qū)的橢偏參數(shù)。

    特點(diǎn)： 

◇ 儀器結(jié)構(gòu)圖                                   ◇ 光斑放大圖                                      ◇ 掃描測(cè)量生成三維參數(shù)模擬圖

                        ◇ 膜厚分布圖                                                                                                 ◇ 光學(xué)常數(shù)分布圖    

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• 可視化分析設(shè)置，直觀了解樣品，也助于調(diào)整樣件位置。

• 掃描分析，根據(jù)測(cè)量數(shù)據(jù)，生成三維參數(shù)模擬圖。

• 超便捷的儀器操作：高度的自動(dòng)化實(shí)現(xiàn)并保證了設(shè)備操作的便利性，用戶可以通過(guò)簡(jiǎn)單的點(diǎn)擊測(cè)量和分析按鈕對(duì)樣件進(jìn)行測(cè)量和分析，并獲得zui終結(jié)果。

• 采用*的技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了包括各向同性，各向異性光學(xué)薄膜，塊狀材料以及周期性納米結(jié)構(gòu)的測(cè)量，數(shù)百種光學(xué)材料庫(kù)和數(shù)十種樣品光學(xué)模型保證了儀器可以直接對(duì)測(cè)量結(jié)果進(jìn)行分析，獲取用戶需要的參數(shù)。

產(chǎn)品應(yīng)用：

    IE-L系列成像光譜橢偏儀是應(yīng)用于半導(dǎo)體/ 新材料/平板顯示/光伏太陽(yáng)能/塊狀材料分析行業(yè)中，采用圖形化各種對(duì)大面積薄膜樣品膜厚和光學(xué)常數(shù)進(jìn)行快速、高分辨率測(cè)量，特別適用于圖形化各向同/異性薄膜材料、復(fù)雜生物組織等的測(cè)量分析。

◇ 采用圖形化各種對(duì)大面積薄膜樣品膜厚和光學(xué)常數(shù)進(jìn)行快速、高分辨率測(cè)量

可用配件：

●  MNFS-SiO2/Si二氧化硅納米薄膜標(biāo)片

●  NFS-Si3N4/Si氮化硅納米薄膜標(biāo)片

●  VP01真空吸附泵

●  樣品臺(tái)物、聚合物等光伏薄膜材料；

基本功能

圖形化各向同/異性薄膜材料、復(fù)雜生物組織等的測(cè)量分析

光譜范圍

400-700nm

測(cè)量時(shí)間

5-30s（取決于光譜分辨率）

入射角范圍

45-90°

橫向分辨率

1-5μm