一、特點(diǎn)
1、 使用幾何尺寸的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。
2、 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，探針的小游移率。
3、 采用的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有立、準(zhǔn)確的壓力。
4、 量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，持久耐磨。
| 產(chǎn)品簡(jiǎn)介 一、特點(diǎn) 1、 使用幾何尺寸的紅寶石軸套，確保探針間距的恒定、準(zhǔn)確。 2、 控制寶石內(nèi)孔與探針之間的縫隙不大于6μｍ，探針的小游移率。 3、 采用的S型懸臂式彈簧，使每根探針都具有立、準(zhǔn)確的壓力。 4、 量具精度的硬質(zhì)合金探針，在寶石導(dǎo)孔內(nèi)穩(wěn)定運(yùn)動(dòng)，持久耐磨。 二、用途 1、 測(cè)量硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率，測(cè)定硅外延層、擴(kuò)散層和離子注入層的方塊電阻。 2、 測(cè)量導(dǎo)電玻璃（ITO）和其它導(dǎo)電薄膜的方塊電阻。 三、探針間距 1、 直線四探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm 2、 方形四探針…………… 1.00mm 3、 直線三探針…………… 1.00mm、1.27mm、1.59mm 4、 兩探針 …………… 1.00mm、1.59mm、4.76mm、10.00mm 四、指標(biāo) 3、 Z大針與導(dǎo)孔間隙：0.006mm 4、 探針材料：硬質(zhì)合金（主成份：進(jìn)口碳化鎢）或高速鋼 5、 探針壓力 標(biāo)準(zhǔn)壓力：6—10N（4根針總壓力） 小壓力：1.2—5N（4根針總壓力） 1牛頓（N）=101.97克 6、 針尖壓痕直徑：25—100μｍ、100—250μｍ（簿層） 7、 500V緣電阻：＞1000MΩ |  |
